内容简介
本书主要内容是，对基于压阻效应、电容效应、机械谐振效应、光电效应、电子隧道效应和原子力效应的多种微传感器和智能微传感器的物理机理、材料、设计、制造、应用和发展进行了深入系统的讨论，包括对压力、加速度、角速度、纳米尺度和图像生成等的测量与性能分析。全书内容丰富，重理论也重应用，各章后配有思考题。
本书适合用作高等学校相关专业微机械传感器课程的教材，也可供从事微机械传感器研究的工程技术人员参考。
目录
第1章 微传感器概论
1.1 微传感器优特点
1.2 微传感器弱信号检测技术
1.3 微传感器分类
1.4 现状与未来
1.5 本书讨论内容
思考题
第2章 微传感器与材料
2.1 概述
2.2 硅及其化合物材料
2.3 化合物半导体材料
2.4 光导纤维
2.5 熔凝石英
2.6 金刚石材料
2.7 压电材料
2.8 磁致伸缩材料
2.9 形状记忆合金
2.10 膨胀合金
2.11 几种通用金属材料
2.12 超导体
2.13 纳米相材料
2.14 结论
思考题
第3章 微机械制造技术
3.1 概述
3.2 硅微机械加工技术
3.3 LIGA技术和SLIGA技术
3.4 固相键合技术
3.5 特种加工技术
思考题
第4章 硅压阻式微传感器
4.1 概述
4.2 硅压阻式压力微传感器
4.3 硅压阻式加速度微传感器
思考题
第5章 硅电容式微传感器
5.1 概述
5.2 硅电容式集成压力传感器
5.3 微弱电容信号的检测电路
5.4 接触式硅电容压力微传感器
5.5 硅电容式加速度微传感器
思考题
第6章 硅谐振式微传感器
6.1 概述
6.2 谐振式微传感器的物理机理
6.3 激励和检测机制
6.4 硅谐振式微传感器
思考题
第7章 纳米微传感器
7.1 概述
7.2 电子隧道传感器工作原理
7.3 隧道加速度传感器
7.4 原子力纳米结构传感器检测原理
7.5 碳纳米管质量传感器
思考题
第8章 光电式微传感器
8.1 概述
8.2 基本原理
8.3 光电传感器性能参数
8.4 CCD成像传感器
8.5 红外传感器
8.6 光纤传感器
思考题
第9章 智能化微传感器
9.1 概述
9.2 现场总线式智能传感器
9.3 应用举例
9.4 网络式智能微型无线传感器
思考题
参考文献
北京市公安局丰台分局备案编号：1101080539 
